PECVD管式爐爐體及爐膛結構

PECVD管式爐設計和采用先進的技術是爐體外觀新穎、結構合理。外殼采用國標鋼材，其外殼噴塑具有耐溫、耐久、耐氧化、耐酸、耐緘等優(yōu)點；精心搭配顏色是產品美觀大方和耐用！爐膛材料全部采用進口摩根纖維制作而成，爐膛是幾塊耐火纖維塊拼裝而成，大大避免了急冷急熱裂縫的現(xiàn)象管式電爐發(fā)熱元件選用。

 

硅鉬棒（分布在爐膛的左右）

硅鉬棒電熱元件是一種以硅化鉬為基礎的電阻發(fā)熱元件。燒結的硅化鉬制品在氧化氣氛下加熱到高溫，其表面生成一層致密的石英玻璃膜，它可保持制品不在氧化。因此硅鉬棒元件具有*的高溫抗氧化性。在氧化氣氛下高使用溫度為1750℃。硅鉬棒元件的電阻不隨使用時間的長短而改變（電阻隨溫度的升高而增大），也就是不老化，因此新舊元件可以混合使用。硅鉬棒元件的機械性制和其他陶瓷制品一樣，在常溫下屬于脆性材料容易斷裂，但使用得當和安裝合理是可以避免的。

 

PECVD管式爐硅碳棒（分布在爐膛的左右或者四周）

碳棒是選用綠化碳化硅材料為主要原料，經輕加工制呸、高溫硅化、在結晶而成的棒狀的非金屬高溫電熱元件。該元件與金屬電熱元件相比，具有使用溫度高、抗氧化、耐腐蝕、壽命長、變形微、安裝維修方便等優(yōu)點。硅碳棒具有較大的比電阻，在空氣中加熱，發(fā)熱部表面溫度可以達到1450℃；從室溫到800℃為負值，800℃以上為正值特性曲線。硅碳棒具有良好的化學穩(wěn)定性，酸對其無作用，但堿和堿土金屬氧化物在一定的溫度條件下對其有侵蝕作用。

 

高溫下，水蒸氣、氫氣、鹵素、硫等對其也有氧化和侵蝕作用。為爐溫和棒承受負荷均勻，安裝前必須進行配阻，保持電阻一致±10%；電爐長期使用過程中，個別棒由于其它原因而損壞需要更換時，要根據(jù)當時阻值的增長情況，選補阻值適宜的棒，不可任取新棒更換。若棒損壞的較多或阻值增長過大，無法達到達到所需的爐溫時更換成新棒。換下來的棒重新測量其電阻值。